蘭ASMLがツァイス子会社に出資、次世代露光装置の開発加速へ

半導体製造装置の世界最大手メーカーである蘭ASMLは3日、独光学機器大手カール・ツァイス子会社のカール・ツァイスSMTとの協力関係を強化する[…]

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