ニコンが蘭ASMLなど提訴、露光装置の特許侵害で

ニコンは24日、半導体露光装置の世界最大手メーカーである蘭ASMLと、ASMLに光学部品を供給する独カール・ツァイスをオランダ、ドイツ、日本[…]

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