蘭ASML、カールツァイス子会社に出資

半導体製造装置大手のASML（オランダ）は3日、独光学機器大手カールツァイスの半導体関連機器子会社であるカールツァイスSMTの株式24.9％を10億ユーロで取得すると発表した。これに伴って業務提携を強化することでも合意した。

ASMLは半導体の微細な回路パターンをシリコンなどのウエハーに焼き付ける露光（リソグラフィー）装置の世界最大手。極端紫外線（EUV）と呼ばれる極端に波長が短いレーザー光源を用いるEUV露光装置などで強みを持つ。カールツァイスSMTは30年前から同社と取引関係にあり、レーザー光線を集中するために必要なレンズなどの機器を供給している。

ASMLはカールツァイスSMTに出資するほか、次世代のEUV露光装置の開発で提携し、カールツァイスSMTの研究開発などに向こう6年間で7億6,000万ユーロを投資する。2017年4～6月期の出資手続き完了を見込む。