半導体製造装置のアイクストロンが研究施設建設

半導体製造用成膜装置の有力メーカーである独アイクストロンは23日、同国南部のヘアツォーゲンアウラハでイノベーションセンターの建設を開始したと発表した。約1億ユーロを投じて、1,000平方メートルのクリーンルームと、計測設備を設置する。2024年下半期に設備の搬入を開始。25年初頭に引き渡しが行われる。