ドイツの物理工学研究所（PTB）はこのほど、新たな接触式三次元微細形状測定装置を開発した。トレースビリティーが可能で、ディーゼル燃料噴射ノズルのように幅が狭く、深さのある形状の部品を計測することができる。同技術は5月8～11日にシュツットガルトで開催される国際品質保証専門見本市「コントロール（Control）」に出展された。
\PTBが開発した装置は、プローブチップとピエゾ抵抗測定ブリッジが組み込まれた長いシリコンカンチレバーが特徴。直径40マイクロメートル、深さ1.5ミリメートルの穴や溝を計測できるという。表面が柔らかい場合は、プローブの接触圧力を1μNまで下げることができる。また、短時間で計測できる利点もあるという。
\同装置の開発には、ブラウンシュヴァイク工科大学の半導体技術研究所（IHT）とエアフルトのマイクロセンサー技術・光起. 電力研究所（CiS）が協力した。
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